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真空镀膜机选用要点
文章出处:常见问题
责任编辑:东莞鑫松辉科技有限公司
发表时间:2021-07-29
1、手动主动的挑选
依据设备运用特色,可挑选手动、半主动、全主动或其组合的操控方法。
2、真空镀膜设备充气方法的挑选
充气方法可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门,并可挑选多路充气管路及相应流量参数。
3、镀制方法的挑选
依据工艺要求挑选镀制方法及方式,如电阻蒸腾(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺度多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空丈量可挑选数字式智能真空计及其优质的丈量规管,及其它丈量仪器,如主动压强操控仪等。膜厚丈量可选用方块电阻丈量仪,透过率计等。
4、真空镀膜设备夹具的工作模式
夹具工作方式有自转、公转及公转+自转方法,用户可依据基片尺度及形状提出相应要求,滚动的速度范围及滚动精度:普通可调及变频调速等。
5、挑选真空镀膜机的类型
依据工艺要求挑选不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸腾、电子束蒸腾、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
6、真空体系
真空体系由机械泵、分散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
7、烧烤外表的挑选
依据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应外表丈量。
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